HWNK系列纳米级精密定位工作台以压电陶瓷致动器为核心驱动元件，通过柔性铰链机构进行无间隙的微位移传动，运动范围在几十微米到几百微米，运动分辨率和重复定位精度在纳米级。主要应用于精密进给系统、精密位移补偿、精微操作、MEMS技术、生物工程、细胞操作、微刻蚀、扫描隧道显微镜、光学调整、电化学加工等领域。
纳米级精密定位工作台的主要工作原理（闭环）框图如下：
传统机械式微位移技术中，由于存在着较大的间隙和机械摩擦，以致使运动灵敏度和定位精度都很难达到很高的要求。而柔性铰链式微位移机构具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、无间隙、无爬行、机械谐振频率高、抗震动干扰能力强等优点，采用压电陶瓷驱动器进行驱动则很容易实现高分辨率的位移。
主要特点：
·采用压电陶瓷驱动；
·纳米级位移分辨率；
·重复定位精度高；
·优良的频率响应特性；
·采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；
·可内置电阻应变片式微位移传感器，方便实现闭环控制；
·机体材料可选择铝合金、Invar合金等，适用于不同的应用场合；
·采用电火花、线切割等加工工艺，以严格保证加工；
·从一维到六维多维度多种构型可选，接受定制；
·采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力。
选型说明：
定制说明：
由于应用领域的广泛性，用户可以采用定制的方式以得到更有针对性的产品。如果产品样本中未包含您所需求的产品类型，您可以与我们联系并提供您详细的技术要求，我们将为您提供更好的服务。
HWNK-1D系列（一维直驱式工作台）
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向的一维运动，行程从10μm至50μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
HWNK-1A系列（一维放大式工作台）
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向的一维运动，行程从50μm至200μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
HWNK-1Z系列（一维Z向式工作台）
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿Z轴方向的一维运动，行程从100μm至350μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
HWNK-1S系列（一维小体积式工作台）
该系列小体积大行程工作台通过特殊的方法机构设计，可实现小体积大行程的运动，最大可实现X方向400μm的运动。采用柔性铰链机构作为导向机构，这种无摩擦柔性铰链导向系统提供了超高的精度以及很高的快速响应时间，快速定位响应时间仅需要几毫秒，适合动态与静态的应用。
HWNK-1E系列（一维中空式工作台）
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向的一维运动，行程从50μm至200μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
HWNK-1L系列（一维L式物镜台）
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿Z轴方向的一维运动，行程从60μm至140μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，主要应用于扫描干涉、半导体测试设备、生物科技、共焦显微、表面结构分析。
HWNK-1U系列（一维U式物镜台）
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向的一维运动，行程从10μm至100μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，主要应用于表面扫描与分析、AFM显微镜、生物科技、印刷过程光束聚焦、半导体测试设备等。
HWNK-2J系列（二维集成式工作台）
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向和Y轴方向的二维运动，行程从10μm至200μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
HWNK-2M系列（二维模块式工作台）
该系列微动台采用模块化设计，可将一维微动台通过相应的连接板自由组合成具有沿X轴方向和Y轴方向运动的微动台，行程从10μm至200μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
HWNK-3J系列（三维集成式工作台）
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿Z轴的升降和绕X轴及Y轴方向的转动，并可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制。主要应用于光学、激光扫描、通信、光束偏转和光束偏摆。
HWNK-3M系列（三维模块式工作台）
该系列微动台采用模块化设计，可将一维微动台通过对应的连接板自由组合成具有沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向运动的微动台，行程从10μm至200μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
HWNK-3P系列（三维并联式工作台）
该系列微动台属于3-RPS型三自由微动并联机器人，通过压电陶瓷直接驱动柔性铰链，具有出力大、刚度高、结构紧凑、易于小型化、无摩擦、误差无积累等优点。微动并联机器人的应用主要集中在空间、隔振、医疗、光学、工业等领域。
HWNK-6P系列（六维并联式工作台）
该系列微动台属于6-RPS型三自由微动并联机器人，通过压电陶瓷直接驱动柔性铰链，具有出力大、刚度高、结构紧凑、易于小型化、无摩擦、误差无积累等优点。微动并联机器人的应用主要集中在空间、隔振、医疗、光学、工业等领域。
HWPN系列压电陶瓷驱动电源
HWPN系列压电陶瓷驱动电源能够为压电陶瓷提供高稳定性、高分辨率的电压，并且有着优良的频率响应和极低的静态纹波。有多种控制方式、多种型号和多种配置的产品，能够满足不同用户的需求。
主要特点：
·输出电压高稳定性；
·输出电压高分辨率；
·优良的动态频率响应特性；
·极低的静态纹波；
·多种控制方式：计算机、模拟信号、键盘、旋钮；
·自发典型波形：方波、正弦波、三角波；
·自定义波形存储功能，可通过计算机存储2个自定义波形；
·过流保护功能；
·输出电压实时监控；
·液晶汉字显示及薄膜按键操作，提供良好的人机界面；
·提供完善的上位机软件程序和通信协议。
控制模式:
1、手动模式
·键盘输入：通过数字键盘输入所需要的电压值。
·旋钮调节：旋转调节旋钮进行输出电压粗调及细调，粗调和细调步长可由用户自行设置，能够与键盘配合同时使用。
2、模拟方式
·将信号发生器或D/A转换器等输出的模拟信号接入压电陶瓷驱动电源的模拟输入口，信号经放大后输出，此时驱动电源作为放大器使用。
3、自发方式
·压电陶瓷驱动电源能够自发方波、正弦波和三角波共三种典型波形。通过设置频率、幅值以及偏置等波形参数，即可产生相应的驱动信号。
4、联机
·实时通信：通过计算机串口对电源输出进行控制，提供相应控制软件。
·自定义存储：用计算机软件给压电陶瓷驱动电源发送自定义电压数据以及相邻两个数据的时间间隔，存储在电源中，脱机后，电源仍可按照存储的数据输出，关机后存储的数据不会丢失。
HWPN系列压电陶瓷驱动电源
HWS系列LVDT测微仪
HWS系列LVDT测微仪是适用于多种测量范围的高精度微位移检测仪器。可以独立实现纳米级微位移检测，广泛应用于各种需要动静态微位移检测的领域，具有性能优越、测量精度高、价格低等与优点。
