该系列小体积大行程工作台通过特殊的方法机构设计，可实现小体积大行程的运动，最大可实现X方向400μm的运动。采用柔性铰链机构作为导向机构，这种无摩擦柔性铰链导向系统提供了超高的精度以及很高的快速响应时间，快速定位响应时间仅需要几毫秒，适合动态与静态的应用。
该系列小体积大行程工作台通过特殊的方法机构设计，可实现小体积大行程的运动，最大可实现X方向400μm的运动。采用柔性铰链机构作为导向机构，这种无摩擦柔性铰链导向系统提供了超高的精度以及很高的快速响应时间，快速定位响应时间仅需要几毫秒，适合动态与静态的应用。
