该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿Z轴方向的一维运动，行程从60μm至140μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，主要应用于扫描干涉、半导体测试设备、生物科技、共焦显微、表面结构分析。
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿Z轴方向的一维运动，行程从60μm至140μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，主要应用于扫描干涉、半导体测试设备、生物科技、共焦显微、表面结构分析。
