该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向的一维运动，行程从10μm至100μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，主要应用于表面扫描与分析、AFM显微镜、生物科技、印刷过程光束聚焦、半导体测试设备等。
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向的一维运动，行程从10μm至100μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，主要应用于表面扫描与分析、AFM显微镜、生物科技、印刷过程光束聚焦、半导体测试设备等。
