该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动,具有沿Z轴的升降和绕X轴及Y轴方向的转动,并可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制。主要应用于光学、激光扫描、通信、光束偏转和光束偏摆。