该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向和Y轴方向的二维运动，行程从10μm至200μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
该系列微动工作台通过柔性铰链机构对压陶瓷进行直接驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向和Y轴方向的二维运动，行程从10μm至200μm。该系列微动台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台。
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